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          SCI-552是臭氧輸送系統的控制器

          來源:www.amigosatwork.com 作者:同林臭氧 時間:2022-12-27 09:47

          SCI-552是臭氧輸送系統的控制器


          SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

          SCI-552基于軟硬件特點,提供了很多系統聯鎖功能,它靈活性高,允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。

          image.png

          SCI-552型臭氧發生器控制器參數

          顯示:2 行 x 40 字母、數字,真空熒光

          分辨率:0.01% w/w

          周期 :不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新

          數字I/O :RS-232 C, 雙向

          裝置I/O:發生器支持 能夠支持兩臺臭氧發生器,工業標準 引出線

          質量流量計控制: 4 - DB-9 連接體,支持四臺質量流量 計

          背壓控制器:2 - DB-15 連接體,支持兩臺電子背 壓調節器

          臭氧發生器:2 - 10 針IDC,支持兩臺臭氧發生器

          EV閥:2 - 2 針連接體 - 24 VDC

          冷卻器:1 - DB-15 冷卻器連接體


          客戶系統I/O聯鎖:1- 系統硬件聯鎖

                                        1 - 通訊聯鎖

                                        (可用戶配置)

                                       1 - 軟件聯鎖 (背壓)

          串行數字 :RE-232, DB-25 (Modbus標準 -可選其他選項)

          AC電源:90到240VAC, 50/60 Hz

          典型功率: 低于225 W 

          尺寸 :(寬 x 高 x 長) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

          重量:10.9 磅 (4.94 千克)

          環境:只為室內應用而設計

          運行溫度: 5 - 35?C

          相對濕度:80%, 無冷凝

          保修 :1 年

          認證:CE


          應用

           化學氣相沉積(CVD)

          原子層沉積(ALD)

          氧化物生長

          表面處理

          灰化

          粒子清潔

          光刻膠去除

          其他


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