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        SCI-552是臭氧輸送系統的控制器

        來源:www.amigosatwork.com 作者:同林臭氧 時間:2022-12-27 09:47

        SCI-552是臭氧輸送系統的控制器


        SCI-552是臭氧輸送系統的控制器,能夠為很多系統部件提供電氣控制界面,包括:臭氧發生器、EV閥、質量流量計、背壓控制器、TAPI 452臭氧傳感器、 TAPI 470 溶解臭氧傳感器和水冷卻器。

        SCI-552基于軟硬件特點,提供了很多系統聯鎖功能,它靈活性高,允許用戶通過前面板用戶界面、MODBUS串行接口或各種離散型數字和模擬輸入來控制整個系統。SCI-552能夠支持兩臺臭氧發生器并提供兩條獨立的臭氧輸出渠道。

        image.png

        SCI-552型臭氧發生器控制器參數

        顯示:2 行 x 40 字母、數字,真空熒光

        分辨率:0.01% w/w

        周期 :不間斷測量,每2秒或0.5 Hz刷新

        數字I/O :RS-232 C, 雙向

        裝置I/O:發生器支持 能夠支持兩臺臭氧發生器,工業標準 引出線

        質量流量計控制: 4 - DB-9 連接體,支持四臺質量流量 計

        背壓控制器:2 - DB-15 連接體,支持兩臺電子背 壓調節器

        臭氧發生器:2 - 10 針IDC,支持兩臺臭氧發生器

        EV閥:2 - 2 針連接體 - 24 VDC

        冷卻器:1 - DB-15 冷卻器連接體


        客戶系統I/O聯鎖:1- 系統硬件聯鎖

                                      1 - 通訊聯鎖

                                      (可用戶配置)

                                     1 - 軟件聯鎖 (背壓)

        串行數字 :RE-232, DB-25 (Modbus標準 -可選其他選項)

        AC電源:90到240VAC, 50/60 Hz

        典型功率: 低于225 W 

        尺寸 :(寬 x 高 x 長) 19” x 7” x 9”(48 cm x 17.8 cm x 22.86 cm)

        重量:10.9 磅 (4.94 千克)

        環境:只為室內應用而設計

        運行溫度: 5 - 35?C

        相對濕度:80%, 無冷凝

        保修 :1 年

        認證:CE


        應用

         化學氣相沉積(CVD)

        原子層沉積(ALD)

        氧化物生長

        表面處理

        灰化

        粒子清潔

        光刻膠去除

        其他


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