美國API 452型過程臭氧測量模塊
- 適合應用于半導體行業 -
452是基于微處理器的、能夠精準可靠地測量氧氣或空氣中的高濃度臭氧的氣體測量模塊。 測量原理是基于254nm波長的紫外吸收法。讀數的單位可在重量百分比和克/立方米中選擇。溫度補償和高達300kPa的壓強補償也是該系列儀器的特點。
儀器緊湊的設計使得它在工業過程中的安裝更為簡單。氣體路徑設計為直線（無轉角或彎管，能夠有效減少暴露表面積。452的測量模塊只對窄波段光譜敏感，無需紫外濾光器，而紫外濾光器會被紫外線或濕度所影響，從而導致測量結果不準確。 452中使用了兩個探測器：一個用于臭氧測量，另一個用于紫外燈強度變化的補償。這種設計使得測量模塊可在沒有維護或校準的情況下長時間運行。測量模塊內置模擬輸出、RS485/RS232輸出和4個光隔離狀態輸出以顯示測量模塊運行狀態。
輸入/輸出和電源輸入連接是通過15針 D-sub 接頭實現的。在高純度應用中，452支管可采用316L不銹鋼、10Ra表面粗糙度、1/4” VCR接頭。
參數
量程： 0-5, 0-10, 0-15, 0-20, 0-25% w/w,
0-100, 0-200, 0-300, 0-400, 0-500 g/Nm3
壓力補償： 最高300kPa絕對壓強
耐壓 ：115 psia
重復性： 1%滿量程
響應時間： T95<2秒
零點漂移： 1% 滿量程/月 (不累積)
溫度范圍 ：5-45°C
接觸材料 ：316L不銹鋼,聚四氟乙烯，藍寶石
配件： 1/4” 不銹鋼接合(管道)或高純度VCR?或HTC?配件，316L，10Ra表面粗糙度
流量 ：0.5 到 25.0 LPM
電源 ：+15 volts @ 1.5A 最大
指示器 ：4位LED顯示
模擬輸出 ：0-5V滿量程
零點校準 ：觸點閉合輸入
數字輸出 ：測量模塊正常, 燈強度弱, 測量室污染,
無效讀數(光電隔離)
串行數據接口 ：RS232 或 RS485
尺寸 (高x寬x長) ：6.71” x 5.13” x 2.16”
(170.4 mm x 130.3 mm x 54.8 mm)
包含配件
重量 ：1.27 千克
認證： CE 和 RoHS
保修： 1 年
